张立锋

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张立锋

高级工程师

电话：

55664846

邮箱：

lfzhang@fudan.edu.cn

地址：

复旦大学邯郸校区微电子学楼B208室

研究所：

微纳电子器件研究所

研究方向：

原子层淀积(ALD)薄膜制备

集成电路MIM电容研究

高K介质研究

教育背景：

复旦大学，微电子学与固体电子学，博士