研究方向:
精密运动控制系统的先进控制方法
IC装备特种执行器和传感器技术
纳米精度多自由度运动台的系统设计、仿真和集成技术
教育背景:
日本上智大学,机电控制,博士
学术经历:
2011年03月-2018年04月复旦大学,研究员
1997年04月-2010年10月日本株式会社尼康,主任研究员
1989年03月-1993年03月东北大学,讲师