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杨晓峰
研究员 博士生导师
电        话:
邮        箱:
xf_yang@fudan.edu.cn
地        址:
复旦大学张江校区行政楼228A
研  究  所:
微纳电子器件研究所

研究方向:

精密运动控制系统的先进控制方法

IC装备特种执行器和传感器技术

纳米精度多自由度运动台的系统设计、仿真和集成技术


教育背景:

日本上智大学,机电控制,博士


学术经历:

2011年03月-2018年04月复旦大学,研究员

1997年04月-2010年10月日本株式会社尼康,主任研究员

1989年03月-1993年03月东北大学,讲师