张立锋

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老师

张立锋

发布日期：2021-06-22 浏览量：16

研究方向：

原子层淀积(ALD)薄膜制备

集成电路MIM电容研究

高K介质研究

教育背景：

复旦大学，微电子学与固体电子学，博士