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邓海

教授博士生导师

邮箱haideng@fudan.edu.cn

地址复旦大学张江校区微分析楼B310室/金创大厦2号楼713

个人网站denghai.fudan.edu.cn


研究方向:

先进半导体芯片制造用的高端光刻胶、光刻材料和相关工艺集成的研究(微电子方向)

90nm~5nm节点高端半导体光刻材料的研发

探索Moore's Law的材料极限,研发下一代10~5 nm分辨率的光刻材料DSA

研究DSA的图像化工艺和plasma刻蚀工艺

纳米器件的设计和加工

纳米材料的精密设计和合成 (材料方向)

新型纳米材料、器件的研发,序列可控聚合物及其纳米复合材料的研究


学术经历:

1997年-1998年University of California, Berkeley, Chemistry Dept. 化学系,博士后

1996年-1996年美国University of Akron, Polymer Science 高分子系,博士后

1992年-1995年日本Tokyo institute of technology 高分子化学,博士

1990年-1992年日本京都大学,高分子化学硕士

1984年-1988年中山大学,有机合成学士


工作经历:

2015年-至今复旦大学,教授、国家高层次人才

2014年-2015年TOK美国,Fellow

2001年-2014年美国Intel公司,光刻工艺研发工程师&FMO材料研发主管

1998年-2000年美国ROHM&HAAS公司,高级研究员