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孙清清

研究员博士生导师

电话55664609

邮箱qqsun@fudan.edu.cn

地址复旦大学邯郸校区微电子学楼403室

研究所微纳电子器件研究所

研究方向:

新结构集成电路逻辑、存储、传感器件及其芯片设计

集成电路先导工艺与器件,包括原子层淀积、铜互连技术等

高性能存储器件,包括半浮栅晶体管、阻变存储器等

晶圆级二维半导体材料、器件及其电路应用


教育背景:

2007年-2008年德国汉诺威大学,访问学者

2004年09月-2009年06月复旦大学,微电子学系,博士

2000年09月-2004年06月复旦大学,物理学,学士


学术经历:

2013年12月-至今复旦大学,微电子学院,研究员、博士生导师

2011年09月-2013年06月复旦大学,微电子学系,副研究员

2009年07月-2011年08月复旦大学,微电子学系,讲师


荣誉称号:

基金委优秀青年基金获得者

上海市优秀学术带头人

上海市青年科技启明星

上海市晨光学者

2016年度获中国电子学会技术发明奖一等奖(3)

2014年度获上海市科学技术奖二等奖(4)


主持的国家级项目:

国家科技重大专项课题“65-45nm PVD工艺优化的理论和实验研究”

国家科技重大专项课题“32-22nm高k/金属栅纳米叠层材料制备工艺研究”

自然科学基金委重大科学仪器研制项目课题“二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器”

国家高技术研究发展计划(863计划)子课题“14纳米以下技术代硅基新型器件及关键工艺技术研究”

自然科学基金优秀青年科学基金“低功耗电子器件”

自然科学基金面上项目“高k介质/拓扑绝缘体界面结构的物理和电学特性研究”

自然科学基金青年基金“原子层淀积栅介质/石墨烯纳米叠层的界面和电子结构”