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屈新萍

教授博士生导师

电话65643561

邮箱xpqu@fudan.edu.cn

地址复旦大学邯郸校区微电子学楼310室

研究所微纳电子器件研究所

研究方向:

集成电路接触和互连

纳米器件和工艺研究

化学机械抛光研究

氧化物薄膜晶体管研究


教育背景:

1999年7月复旦大学电子工程系,微电子与固体电子学专业,博士

1996年7月中科院上海硅酸盐研究所,无机非金属专业,硕士

1993年7月华中科技大学,固体电子学系,学士


个人经历:

2009年12月-2010年01月香港城市大学,访问学者

2008年08月-2018年05月复旦大学,信息学院,党委副书记

2006年04月-至今复旦大学,微电子学学院,教授、博士生导师

2006年02月–2006年04月美国UCLA大学,材料科学系,访问学者

2005年09月–2005年10月比利时根特大学,访问学者

2003年09月–2008年07月复旦大学,信息学院,院长助理、主管外事

2001年11月–2006年03月复旦大学,微电子学系,副教授

2001年06月–2001年11月复旦大学,微电子学系,讲师

2000年03月–2001年03月比利时根特大学,固态科学系,博士后


学术任职:

IEEE高级会员,美国电化学学会会员

中国化学机械平坦化联盟(China-CMPUG)副主席(2015-)

中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造专业委员会副主任委员(2013-)

国际ICPT会议执行委员会委员(2012-)

2016年国际抛光大会ICPT2016程序委员会主席(2016.10.17-19)

2015年9月韩国ADEMTA会议邀请报告,5月海峡两岸平坦化技术研讨会(清华大学)邀请报告、分会主席

2014年 3月CSTIC会议邀请报告、3月TFPM会议主旨报告、8月美国CMP会议(Albany)邀请报告、9月海峡两岸平坦化技术研讨会(台中)邀请报告;10月ICSICT会议(桂林)分会主席

2013年海峡两岸平坦化技术研讨会(天津)邀请报告、分会主席

2012年10月ICPT会议(法国, Grenoble)邀请报告、分会主席

2011年11月国际ICPT会议(韩国,首尔)分会主席

2011年3月CSTIC会议邀请报告

2011年5月第六届复旦-诺发铜互连技术国际研讨会主席。2004-2008年五届复旦-诺发铜互连技术国际研讨会主席

2010年10月国际集成电路和固态技术会议(ICSICT)分会主席,上海, 2010年1月IEEE国际纳米电子学会议INEC (香港)分会主席

2008、2010年第八届、第十届国际结技术研讨会(IWJT)组织委员会共主席

2006年第六届国际结技术研讨会(IWJT)程序委员会共主席

2004年第四届国际结技术研讨会(IWJT)出版委员会主席,主编“第四届国际结技术研讨会”论文集

2001年编辑“第六届国际集成电路和固态技术会议”论文集(第三编辑),美国电化学学会杂志、欧洲Elsevier杂志(Thin solid films等)、IOP杂志(Nanotechnology等)、Wiley杂志、IEEE EDL、美国ACS杂志、中国半导体学报、中国物理快报等杂志审稿人


荣誉称号:

获得上海市“曙光学者”称号,2012

获得“教育部新世纪优秀人才”称号,2011

获得“复旦大学2009年度优秀研究生导师”称号,2009

获得“上海高校优秀青年教师”荣誉称号,2009

复旦大学陆宗霖奖教金,2008

获得上海市科委“启明星跟踪”人才项目,2008

获得复旦大学复华奖教金,并评为“复旦大学优秀世纪之星”,2005

入选上海市科委“科技启明星”人才项目,2004

入选上海市教育委员会评选的“2003年度上海高校优秀青年教师后备人选”,2003

复旦大学“世纪之星”,获得“教学和科研综合奖”,2002


科研获奖:

教育部科技进步三等奖,1999

国际集成电路和固态技术会议上获“最佳研究生论文奖”,1998