您好,欢迎访问复旦大学微电子学院
张立锋
工程师
电        话:
55664846
邮        箱:
lfzhang@fudan.edu.cn
地        址:
复旦大学邯郸校区微电子学楼B208室
研  究  所:
微纳电子器件研究所

研究方向:

原子层淀积(ALD)薄膜制备

集成电路MIM电容研究

高K介质研究


教育背景:

复旦大学,微电子学与固体电子学,博士